Вакуумный универсальный пост ВУП-5М

Average: 10 (3 votes)

Под заказ

Связаться с менеджером

Описание и характеристики
Отзывы(0)

Вакуумный универсальный пост ВУП-5М предназначен для получения пленок из различных материалов с высокой производительностью методом магнетронного распыления, а также для подготовки объектов, исследуемых с помощью электронного микроскопа или других аналитических приборов.

Варианты исполнения приборов ВУП-5М для поставки
Система откачки	ВУП-5М-01	ВУП-5М-02	ВУП-5М-03
Диффузионный насос, 220 V	+
Турбомолекулярный насос, 220 V		+
Турбомолекулярный насос, 115 V			+

Дополнительные устройства по требованию заказчика: кварцевый измеритель толщины.

Преимущества

универсальность процесса позволяет получить пленки металлов, сплавов и полупроводников;
высокая скорость осаждения с возможностью ее регулирования в широких пределах;
сохраненные соотношения компонентов при распылении вещества сложного состава;
прибор позволяет получить высокую адгезию пленок и подложки;
возможность изменения структуры и свойств пленок;
возможность распыления нескольких материалов без разгерметизации объема;
небольшое тепловое воздействие на обрабатываемую структуру.

Технические характеристики
Предельное остаточное давление в рабочем объеме, Pa: с диффузионным насосом и азотной ловушкой с турбомолекулярным насосом	2×10 ^-4 6×10 ^-4
Диаметр мишени магнетрона, mm	40
Блок питания DC магнетрона: напряжение, V ток, mA	1100 300
Блок питания высоковольтный: напряжение, kV ток, mA	7 50
Блок термического испарения: первый испаритель, ток, A второй испаритель, ток, A	200 100
Температура нагрева подложки, °C	350
Скорость вращения подложки, rpm	5 — 15
Система напуска и стабилизации давления газа	одноканальная (пьезонатекатель)
Размеры рабочего объема (диаметр×высота), mm	300×300
Масса прибора, kg, не более	380
Габаритные размеры, mm стойка аналитическая стойка электрическая	620×630×1600 620×630×1400
Электрическое питание, V	380 / 220
Потребляемая мощность, kVA	4,5